万级车间
洁净室概述：
洁净室定义洁净室（英语：Cleanroom，也称无尘室）是指将空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之环境。即：不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业，例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、医院等行业等，其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内，才不会对制程产生影响。
气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程，即可达到净化目的。
洁净室的空气洁净度的三种状态：
空态：设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。
静态：设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无人员。
动态：设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况下进行工作。
洁净室的气流流型：
乱流式
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器（HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
定义：气流以不均匀速度不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室。
特性：乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）
⑴自净时间：是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室，室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。1,000级希望不超过20min（分钟） （可取15min计算） 10,000级希望不超过30min（分钟） （可取25min计算） 100,000级希望不超过40min（分钟） （可取30min计算）
⑵换气次数（按上述自净时间要求设计）1,000级 43.5—55.3次/小时 （规范：50次/小时） 10,000级 23.8—28.6次/小时 （规范：25次/小时） 100,000级 14.4—19.2次/小时 （规范：15次/小时）
优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
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