参数优化装置及应用其的参数优化方法与流程

本公开了关于一种参数优化装置及应用其的参数优化方法。

背景技术：

1、在参数优化方法中，每次输出一个制程参数，并将制程参数输入制程，并量测对应的制程结果。当制程结果不符制程目标值时，可继续推荐下一个制程参数，直到制程参数所对应的制程结果符合制程目标值。然而，这样的制程参数推荐方式相当耗时且效率低。因此，如何提出一种新的制程参数推荐机制是本技术领域技术人员的目标之一。

技术实现思路

1、根据本公开的一实施例，提出一种参数优化装置。参数优化装置包括一数据提取模块、一取样函数计算模块、一分群模块及一参数推荐模块。数据提取模块用来提取多个输入参数值及对应的多个量测输出值。取样函数计算模块用来依据该些输入参数值及该些量测输出值，产生多个取样函数值。分群模块用来依据该些输入参数值及该些取样函数值，产生多个参数值群组。参数推荐模块用来从该些参数值群组的至少之一，产生多个推荐参数值。

2、根据本公开的另一实施例，提出一种参数优化方法。参数优化方法包括以下步骤。提取多个输入参数值及对应的多个量测输出值；依据该些输入参数值及该些量测输出值，产生多个取样函数值；依据该些输入参数值及该些取样函数值，产生多个参数值群组；以及，从该些参数值群组的至少一者，产生多个推荐参数值。

3、为了对本公开的上述及其他方面有更好的了解，下文特举实施例，并配合附图详细说明如下：

技术特征：

1.一种参数优化装置，包括：

2.根据权利要求1所述的参数优化装置，其中该取样函数计算模块还用来产生各该取样函数值的一邻近变异值，且该分群模块更用来依据该些输入参数值、该些取样函数值及该些邻近变异值，产生该些参数值群组。

3.根据权利要求2所述的参数优化装置，其中该取样函数计算模块还用来进行各该取样函数值与对应的该邻近变异值的积运算，以产生多个样本权重，且该分群模块更用来依据该些输入参数值、该些取样函数值、该些邻近变异值及该些样本权重，产生该些参数值群组。

4.根据权利要求1所述的参数优化装置，其中该数据提取模块还用来判断该些推荐参数值所对应的多个推荐输出值是否达到一目标输出值；以及若该些推荐输出值达到该目标输出值，发出一优化结束信息。

5.根据权利要求1所述的参数优化装置，其中该数据提取模块还用来将该些推荐参数值加入该些输入参数值以及将对应该些推荐参数值的多个推荐输出值加入该些量测输出值，使该些推荐参数值成为该些输入参数值的成员且该些推荐输出值成为该些量测输出值的成员，该取样函数计算模块还用来依据更新后的该些输入参数值及该些量测输出值，产生更新后之该些取样函数值，该分群模块更用来依据更新后的该些输入参数值及该些取样函数值，产生更新后的该些参数值群组，以及该参数推荐模块更用来从更新后的该些参数值群组的至少一者，产生更新后的该些推荐参数值。

6.根据权利要求1所述的参数优化装置，其中该分群模块还用来依据符合一门限值的该些取样函数值及该些输入参数值，产生该些参数值群组。

7.一种参数优化方法，包括：

8.根据权利要求7所述的参数优化方法，还包括产生各该取样函数值的一邻近变异值；以及依据该些输入参数值、该些取样函数值及该些邻近变异值，产生该些参数值群组。

9.根据权利要求8所述的参数优化方法，还包括进行各该取样函数值与对应的该邻近变异值的积运算，以产生多个样本权重；以及依据该些输入参数值、该些取样函数值、该些邻近变异值及该些样本权重，产生该些参数值群组。

10.根据权利要求7所述的参数优化方法，还包括判断该些推荐参数值所对应的多个推荐输出值是否达到一目标输出值；以及若该些推荐输出值达到该目标输出值，发出一优化结束信息。

11.根据权利要求7所述的参数优化方法，还包括将该些推荐参数值加入该些输入参数值以及将对应该些推荐参数值的多个推荐输出值加入该些量测输出值，使该些推荐参数值成为该些输入参数值的成员且该些推荐输出值成为该些量测输出值的成员，依据更新后的该些输入参数值及该些量测输出值，产生更新后的该些取样函数值，依据更新后的该些输入参数值及该些取样函数值，产生更新后的该些参数值群组，以及从更新后的该些参数值群组的至少之一，产生更新后的该些推荐参数值。

12.根据权利要求7所述的参数优化方法，还包括依据符合一门限值的该些取样函数值及该些输入参数值，产生该些参数值群组。

技术总结
参数优化装置包括数据提取模块、取样函数计算模块、分群模块及参数推荐模块。数据提取模块用来提取多个输入参数值及对应的多个量测输出值。取样函数计算模块用来依据该些输入参数值及该些量测输出值，产生多个取样函数值。分群模块用来依据该些输入参数值及该些取样函数值，产生多个参数值群组。参数推荐模块用来从该些参数值群组的至少一者，产生多个推荐参数值。

技术研发人员：阙壮华,黄博煜,林书瑄,张语轩,陈政纬
受保护的技术使用者：财团法人工业技术研究院
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12