一种狭缝挤出式高精密平板涂布机及涂布方法与流程

本发明属于涂布机的技术领域，具体而言，涉及一种狭缝挤出式高精密平板涂布机及涂布方法。

背景技术：

通常在半导体行装置及平板显示器(fpd：flatpaneldisplay)的制造工艺中，为了使被处理基板(玻璃基本)上的执行特定功能的薄膜，例如氧化薄膜、金属薄膜、半导体薄膜等以所需的形状形成的图案(patterning)而执行在所述薄膜上涂布与光源产生反应的感光液(sensitivematerial)的工序。

狭缝式涂布是一种在一定压力下，将涂液沿着模具缝隙压出并转移到移动基材上的一种涂布技术，它以其涂布速度快、涂膜均匀性好、涂布窗口宽等特点，代表了湿法涂布未来发展方向。狭缝式涂布(slotdiecoating)是一种高精密的涂布方式，不仅用于光学膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、扩散膜等)、oled涂布等，还可以用于有机太阳能电池opv和钙钛矿太阳能电池pvk等成卷基材的涂布，也应用于非连续基材如lcd玻璃基板光阻涂布。

狭缝涂布技术适用于各种涂布液，可广泛应用于不同基材表面的涂布，如：玻璃、不锈钢和塑料基片等，均能实现不同功能材料高效、高均匀、高性能的涂布。

随着面板行业的飞速发展，对涂布工艺的要求也越来越高，涂布液的粘度最高可达到10000cps，对涂层厚度均匀一致形，优于±2％；效率高/材料利用率高，材料利用率可达98％以上；要实现全自动上下料方式且良率要达到99％以上。针对这些新的工艺要求，现有市面上的涂布机存在涂层厚度均匀形较差，涂层有气泡杂质，良率在95％左右，针对的涂布液的粘度在5000cps以内且上料方式为手动上料。

技术实现要素：

鉴于此，为了解决现有技术存在的上述问题，本发明的目的在于提供一种狭缝挤出式高精密平板涂布机及涂布方法以达到可涂布不同粘度的各种材料、能够实现高性能、高均匀性以及高效涂布的目的。

本发明所采用的技术方案为：一种狭缝挤出式高精密平板涂布机，包括工作台机架，该涂布机还包括：

设于工作台机架上的吸附平台定位装置；

设于工作台机架上的涂布头z轴运动机构，所述涂布头z轴运动机构装有涂布模头机构并驱动涂布模头机构在z轴方向上作升降运动，且通过涂布模头机构配合吸附平台定位装置的y轴方向运动对工件涂布；

设于工作台机架上且与涂布模头机构相适配的涂布头清洁装置，通过涂布头清洁装置的x轴方向运动对涂布模头机构作清洁；

其中，所述涂布模头机构通过管路控制系统连接有涂布液供液装置，涂布头清洁装置连接有清洁液供液装置。

进一步地，所述吸附平台定位装置包括：

沿y轴方向运动的直线电机；

用于放置工件的平台组件且平台组件通过电机安装板装于直线电机上，所述平台组件通过直线电机驱动其沿y轴方向运动。

进一步地，所述直线电机运动路径的一端设有缓冲器，通过缓冲器对直线电机的运动提供缓冲作用力。

进一步地，所述平台组件包括：

平台主体，所述平台主体上分布有若干个吸附孔，且平台主体通过至少三个支撑组件连接于电机安装板上；

至少三个滑动设于平台主体内的顶针，各所述顶针装于顶针底架上且顶针底架配设有驱动其升降的顶针升降气缸；

至少三个设于平台主体周围的归正组件，通过各个归正组件的共同作用对工件进行工件定位。

进一步地，所述支撑组件包括设于平台主体上的连接法兰、与连接法兰连接的调节螺杆以及与调节螺杆连接的法兰板，所述法兰板装于电机安装板上。

进一步地，所述归正组件包括：

归正块，所述归正块连接有驱动其作升降运动的归正气缸；

装于平台主体上的滑台气缸，所述归正气缸沿垂直于平台主体的侧边方向上滑动设于滑台上，且通过滑台气缸驱动归正气缸运动。

进一步地，所述涂布模头机构包括：

涂布喷嘴，所述涂布喷嘴设有排液接头和进液接头；

与涂布喷嘴连接的喷嘴安装板，所述喷嘴安装板的两端铰接连接于涂布头z轴运动机构上；

涂布喷嘴采用铰链式安装方式，通过接触式位移传感器测量其与吸附平台的相对位置，可自动调整涂布喷嘴与玻璃基板的涂布间隙，进而可高精度、动态控制涂布喷嘴的高度。

进一步地，所述涂布头z轴运动机构包括：

两个呈对称设置的立座，两所述立座之间连接有连接板；

分别设于各所述立座上且呈对称布置的a伺服模组，所述a伺服模组通过伺服安装板装有连接头并驱动伺服安装板在z轴方向运动，连接头与喷嘴安装板连接；

分别设于连接板两侧的平衡气缸，各所述平衡气缸分别通过浮动接头与其对应的伺服安装板连接并驱动伺服安装板在z轴方向运动。

进一步地，所述连接头包括：

装于伺服安装板上的螺母连接板；

装于螺母连接板上的调整板，所述调整板的两端对称布置有固定板；

呈u型状的旋转板，所述旋转板的两支臂通过轴承装于固定板上，且旋转板的底部设有垫板。

进一步地，所述涂布头清洁装置包括：

装于两所述立座之间的安装座；

设于安装座上的b伺服模组，所述b伺服模组连接有清洁刮刀，且清洁刮刀的一侧装有清洁喷嘴；

该涂布头清洁装置可更好的将涂布头上残余的涂布液去除干净，可有效的提高涂布均匀度。

进一步地，所述涂布头清洁装置还包括：

设于涂布模头机构下方的废液收集盒，且废液收集盒连接有调节气缸并通过调节气缸驱动其沿y轴方向运动；

装于废液收集盒一侧的刮刀清洁喷头。

进一步地，所述涂布头清洁装置还包括：

装于两所述立座之间的安装底板；

设于涂布模头机构下方的涂布头浸泡盒，所述涂布头浸泡盒连接有至少一个驱动其沿y轴方向运动的伸缩气缸，且伸缩气缸装于安装底板上；

涂布头浸泡盒可减少涂布喷嘴的清理周期，进而提高效率。

进一步地，所述涂布液供液装置和清洁液供液装置均包括：

至少两个搅拌压力桶，各所述搅拌压力桶的下方分别配设有称重传感器，且各所述搅拌压力桶连通有氮气管和供液管，各所述供液管并联连接后形成供液输出接头；

分别与各所述搅拌压力桶连接的压缩空气管，通过压缩空气管对搅拌压力桶抽真空，进而可减少气泡引起的涂布不良，提高设备的良率。

进一步地，所述管路控制系统包括：

分别设于各所述氮气管上的氮气压力传感器，各个所述氮气压力传感器连接有氮气压力显示仪表；

与涂布液供液装置中供液输出接头连接的涂布液管，所述涂布液管连接有暂存罐且暂存罐设有对其液位监测的液位传感器，暂存罐通过中间管路连接过滤器且中间管路上设有液控阀和伺服注射泵，过滤器通过进液管路连接至涂布模头机构且涂布模头机构连接有排液管路；

其中，所述进液管路和排液管路上分别设有进液液控阀和排液液控阀。

在本发明中还提供了一种狭缝挤出式高精密平板涂布方法，该涂布方法包括：

s1：将工件通过机械手置于吸附平台定位装置上，并通过吸附平台定位装置对工件进行定位后吸附牢固；

s2：吸附平台定位装置朝向y轴方向运动，且涂布模头机构在涂布头z轴运动机构的驱动作用下下降至预设位置，涂布模头机构按预设参数对工件进行涂布；

s3：吸附平台定位装置继续朝向y轴方向运动，直至工件的涂布完成；

s4：涂布模头机构停止并回位至初始位置，并启动涂布头清洁装置以对涂布模头机构进行清洁；

s5：吸附平台定位装置切换至下料状态，通过机械手取出工件后，吸附平台定位装置回位至上料状态，进行下一工件的涂布工序。

本发明的有益效果为：

1.采用本发明所提供的狭缝挤出式高精密平板涂布机及涂布方法，其通过吸附平台定位装置、涂布头z轴运动机构、涂布模头机构、涂布头清洁装置、涂布液供液装置以及清洁液供液装置等各个部分的相互配合下，通过涂布头清洁装置可自动清洁涂布头且由管路控制系统实现稳定的涂布液供液控制，进而能够实现对玻璃基板的全自动化涂布，在玻璃基板上可涂布不同粘度的各种材料，同时，具有精度高、良率高、涂布一致性好以及可靠性高的优点，进而，该涂布机在运行时具有高性能、高均匀性以及高效的优势，具有广泛的推广价值。

附图说明

图1是本发明提供的狭缝挤出式高精密平板涂布机的整体结构示意图；

图2是本发明提供的狭缝挤出式高精密平板涂布机的整体内部布置示意图；

图3是本发明提供的狭缝挤出式高精密平板涂布机中吸附平台定位装置的结构示意图；

图4是本发明提供的吸附平台定位装置中平台组件的结构示意图；

图5是本发明提供的狭缝挤出式高精密平板涂布机中涂布模头机构的结构示意图；

图6是本发明提供的狭缝挤出式高精密平板涂布机中涂布头z轴运动机构的结构示意图；

图7是本发明提供的狭缝挤出式高精密平板涂布机中涂布头z轴运动机构在另一视角的结构示意图；

图8是本发明提供的狭缝挤出式高精密平板涂布机中涂布头z轴运动机构与涂布头清洁装置的装配示意图；

图9是本发明提供的狭缝挤出式高精密平板涂布机中涂布头清洁装置的结构示意图；

图10是本发明提供的狭缝挤出式高精密平板涂布机中涂布液供液装置的结构示意图；

图11是本发明提供的狭缝挤出式高精密平板涂布机中管路控制系统的结构示意图；

图12是本发明提供的狭缝挤出式高精密平板涂布机中管路连接示意图；

图13是本发明提供的狭缝挤出式高精密平板涂布方法在操作时的整体示意图；

附图中标注如下：

1-机架外罩，2-涂布液供液装置，3-清洁液供液装置，4-工作台机架，5-吸附平台定位装置，6-涂布头清洁装置，7-涂布头z轴运动机构，8-管路控制系统，9-涂布模头机构，10-平台主体，11-归正块，12-顶针头，13-电机安装板，14-直线电机，15-线缆保护链，16-高精度直线滑轨，17-缓冲器，18-光栅尺，19-滑台气缸，20-归正气缸，21-接触式位移传感器，22-顶针升降气缸，23-顶针，24-柱形磁铁座，25-顶针底架，26-连接法兰，27-调节螺杆，28-法兰板，29-吊环螺栓，30-喷嘴安装板，31-涂布喷嘴，32-进液接头，33-排液接头，34-连接板，35-减震橡胶垫，36-伺服安装板，37-光电传感器，38-立座，39-a伺服模组，40-伺服电机，41-平衡气缸，42-浮动接头，43-调整板，44-螺母连接板，45-调整连接板，46-轴承安装板，47-轴承挡边，48-转轴，49-轴承，50-垫板，51-旋转板，52-固定板，53-安装底板，54-安装座，55-清洁喷嘴，56-清洁刮刀，57-b伺服模组，58-废液收集盒，59-刮刀清洁喷头，60-调节气缸，61-涂布头浸泡盒，62-伸缩气缸，63-称重传感器，64-搅拌压力桶，65-安全门，66-称重传感器控制器，67-氮气压力显示仪表，68-防护柜体，69-涂布液管，70-消防喷头，71-氮气管道，72-温度传感器，73-压缩空气管，74-液控阀，75-氮气压力传感器，76-消防控制柜，77-喷嘴零点显示仪表，78-压力显示仪表，79-排液液控阀，80-进液液控阀，81-出料口，82-进料口，83-氮气气控阀，84-防震垫，85-暂存罐，86-液位传感器，87-下机架，88-伺服注射泵，89-过滤器，90-针阀。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明实施例的描述中，需要说明的是，指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义；实施例中的附图用以对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

实施例1

在本实施例中具体提供了一种狭缝挤出式高精密平板涂布机，该涂布机适用于各种粘度涂布液，且通过优化该涂布机，使其相较于传统的涂布机存在高均匀形、高精度、高效率以及高性能特性。

如图1所示，以工作台机架4作为该涂布机的主体部分，工作台机架4是该涂布机稳定运行的基础，是确保该涂布机能够正常工作的前提，也是该涂布机的主体组成部分。在工作台机架4的下方设有对其承载的下机架87，且工作台机架4与下机架87之间设有防震垫，以进行减震。

如图2所示，该涂布机还包括：吸附平台定位装置5、涂布模头机构9、涂布头z轴运动机构7、涂布头清洁装置6、涂布液供液装置2、清洁液供液装置3以及管路控制系统8所组成。在实际生产时，还配套设置有置于外部的机架外罩1，将涂布机的各个部分布置在机架外罩1的内部。

①吸附平台定位装置

如图3、图4所示，将吸附平台定位装置5设于工作台机架4上，吸附平台定位装置5采用高精度的直线电机14加高精度直线滑轨16带动平台主体10在涂布方向(y轴方向)上的运动，可精确控制运动轨迹(包括加速和减速参数)，同时，由于平台主体10可对玻璃基板进行精准定位，通过科学合理的真空吸附孔布置，能够保证玻璃基板的基本平面度。对于吸附平台定位装置5的设计如下：

所述吸附平台定位装置5包括：直线电机14和平台组件，所述直线电机14驱动平台组件沿y轴方向运动，在直线电机14的两侧对称布置有高精度直线滑轨16，在各所述高精度直线滑轨16上滑动有多个滑块，由各个滑块与电机安装板13连接，以实现电机安装板13在直线电机14的驱动作用下，电机安装板13沿着高精度直线滑轨16的方向(即：y轴方向)作运动，同时，电机安装板13上连接有线缆保护链15，线缆保护链15的另一端固定于高精度直线滑轨16一侧的工作台机架4的线槽内，以确保电机安装板13在运动时，其上的各个电器部件能够由线缆保护链15内的线缆正常供电。

为进一步确保直线电机14驱动电机安装板13在y轴方向上运动时，其能够安全运行，在直线电机14的一端设置有缓冲器17，通过缓冲器17对直线电机14的运动提供缓冲作用力。其中，缓冲器17包括：缓冲板和对称设于缓冲板两侧的缓冲杆，缓冲杆滑动套于缓冲板上，缓冲杆的一端设有缓冲橡胶，另一端套有缓冲弹簧；当电机安装板13运动至直线电机14的端部时，电机安装板13先与缓冲橡胶碰撞，缓冲杆随之产生运动，在缓冲杆运动时，缓冲弹簧会对其提供缓冲作用力，进而为电机安装板13的运动提供缓冲，防止电机安装板13运动速度过大，出现较大碰撞而产生损坏。

通过平台组件来放置待涂布的工件，且平台组件通过电机安装板13装于直线电机14上，在直线电机14的作用下，平台组件通过直线电机14驱动其沿y轴方向运动，直线电机14的运行平稳，重复定位精度高，相比丝杠传动，无速度波动，能够提高涂层的厚度均匀性，在作y轴运动时，能精确控制吸附平台的运动轨迹(包括加速和减速参数)。

对于平台组件的设计，其主要包括：用于吸附玻璃基板的平台主体10、用于安装平台主体10的多个支撑组件以及用于对玻璃基板定位的归正组件，所述平台主体10采用大理石平台，大理石平台加工精度高，尺寸稳定，能满足设备所需的平面度要求，所述平台主体10上分布有若干个吸附孔，通过各个吸附孔形成负压，其主要作用对玻璃基板进行吸附定位。优选的，在本实施例中，在大理石平台上设置呈棋盘式的真空槽，各个真空槽的内部布置有各所述吸附孔，进而可有效提高玻璃基板的吸附面积，有利于涂布式玻璃基板的吸附稳定性。

在本实施例中，平台主体10设计为矩形结构，在平台主体10的四个转角处分别通过支撑组件连接于电机安装板13上。对于支撑组件的设计，支撑组件包括设于平台主体10上的连接法兰26、与连接法兰26连接的调节螺杆27以及与调节螺杆27连接的法兰板28，所述法兰板28装于电机安装板13上，进而实现对平台主体10的装配。在实际应用时，通过拧动调节螺杆27可有效调节大理石平台的平面度，消除本身加工误差导致的平面度超差。

在平台主体10内滑动设置有四个顶针23，各所述顶针23装于顶针底架25上且顶针底架25配设有驱动其升降的顶针升降气缸22，通过升降气缸实现顶针底架25的升降运动。当四个顶针23在顶针底架25的驱动下上升至同一高度位置后，可用于承载玻璃基板，此时，也称为该吸附平台定位装置5的上、下料状态；反之，当四个顶针23在顶针底架25的驱动下下降后，玻璃基板则被吸附在平台主体10上，进而可对玻璃基板进行涂布。为实现对各个顶针23的稳固、快速安装，在各个顶针23的一端部设置柱形磁铁座24，通过柱形磁铁座24装于顶针底架25上，各个顶针23的另一端为顶针头12。

在平台主体10的周围布置有六个归正组件，每两个归正组件为一对，同一对的各个归正组件分别布置于平台主体10的相对两侧。在本实施例中，基于平台主体10的尺寸，在平台主体10的短侧边布置有一对归正组件且长侧边则布置有两对归正组件，通过各个归正组件的共同作用对工件进行工件定位。

对于归正组件的设计，归正组件包括：归正块11和装于平台主体10上的滑台气缸19，所述归正块11连接有驱动其作升降运动的归正气缸20，在归正气缸20的作用下，归正块11上升，使其能够对应到玻璃基板的侧边高度位置，优选的，归正块11设为圆柱状结构，以确保归正块11与玻璃基板之间为点对点接触，同时，归正块11与归正气缸20的活塞杆之间应当是活动套接的。

将归正气缸20沿垂直于平台主体10的侧边方向上滑动设于滑台上，且通过滑台气缸19驱动归正气缸20运动，进而，归正气缸20所连接的归正块11也会在垂直于平台主体10的侧边方向上滑动。为确保归正块11能够良好接触到玻璃基板，在平台主体10的侧部开设有与归正块11相匹配的缺口槽，以为归正块11的运动留有余地。

其工作原理是：当玻璃基板放置在平台主体10的表面上后，先通过归正气缸20将归正块11上升，直至能够对应玻璃基板的侧边；再通过滑台气缸19收缩，各个滑台气缸19的收缩里程由预先设定，以致在各个滑台气缸19的作用下，能够将玻璃基板进行定位准确，此时，启动平台主体10的吸附功能，将玻璃基板吸附牢固，在将归正气缸20和滑台气缸19回位。

②涂布头z轴运动机构

如图6、图7以及图8所示，在工作台机架4上设置有涂布头z轴运动机构7，涂布头z轴运动机构7由两侧高精度的伺服模组、高精度光栅尺18且涂布头采用铰链式安装在涂布头z轴运动机构7上，可对涂布头进行角度调整。在实际应用时，本涂布头z轴运动机构7在对涂布间隙控制时具有高精度，动态控制涂布头在z轴方向高度的优势。

对于涂布头z轴运动机构7，其包括：两个呈对称设置的立座38且两所述立座38之间连接有连接板34、分别设于各所述立座38上且呈对称布置的a伺服模组39以及分别设于连接板34两侧的平衡气缸41所组成。其中，连接板34与立座38的端部之间设有减震橡胶垫35。

a伺服模组39通过伺服安装板36装有连接头并驱动伺服安装板36在z轴方向运动，a伺服模组39包括伺服电机40，且a伺服模组39在运行过程中配设有光电传感器37，由两组光电传感器37分别对于a伺服模组39在运动时的原点和终点。通过连接头与喷嘴安装板30连接，在实际应用时，连接头包括：装于伺服安装板36上的螺母连接板44、装于螺母连接板44上的调整板43以及呈u型状的旋转板51，所述调整板43的两端对称布置有固定板52，将旋转板51的两支臂通过轴承49装于固定板52上，轴承49的内部通过转轴48与固定板52连接，轴承49的外部设有轴承49挡板，以旋转板51的支臂作为固定轴承挡边47的轴承安装板46。在旋转板51的底部设有垫板50，以通过垫板50对涂布模头机构9中的喷嘴安装板30起到缓冲作用，由于涂布模头机构9的安装方式为铰链式安装，这种安装方式有利于涂布喷嘴31与平台主体10表面之间的平行度调节，通过平台主体10上的接触式位移传感器21与涂布喷嘴31两侧的尺寸测量，可自动修正涂布喷嘴31与平台主体10之间的误差，对涂布均匀度有很大的提高。在实际应用时，还在伺服安装板36上安装有光栅尺18，以通过光栅尺18实现对位置的实时反馈。

在对涂布模头机构9作z轴方向驱动，除了a伺服模组39之外，各所述平衡气缸41分别通过浮动接头42连接有调整连接板45，调整连接板45与其对应的伺服安装板36连接并驱动伺服安装板36在z轴方向运动。进而，整个机构采用两个动力源同时驱动，两个平衡气缸41与a伺服模组39的配合动作，能够消除伺服双驱动作可能不同步造成的差异。

③涂布模头机构

如图5所示，涂布模头机构9采用高精密涂布喷头，针对高一致性、化学兼容性、低充填容量和条状涂布进行模具设计制造，涂布喷头的内部压力、流量的变化可实时检测并上传至中央控制系统。

涂布模头机构9装于涂布头z轴运动机构7上，并由涂布头z轴运动机构7驱动涂布模头机构9在z轴方向上作升降运动，且通过涂布模头机构9配合吸附平台定位装置5的y轴方向运动对工件涂布。在实际应用时，通过在平台主体10的侧部安装有接触式位移传感器21，以实时测量涂布喷嘴31与平台主体10表面之间的间距，接触式位移传感器21的测量精度高，其通过与涂布头的直接测量，可动态监控涂布间隙。

所述涂布模头机构9包括：涂布喷嘴31和与涂布喷嘴31连接的喷嘴安装板30，所述涂布喷嘴31设有排液接头33和进液接头32，喷嘴安装板30的两端铰接连接于涂布头z轴运动机构7上，即与上述所述的涂布头z轴运动机构7中旋转板51之间连接，由旋转板51实现铰接方式的装配。在实际应用时，为方便对涂布模头机构9的安装，在喷嘴安装板30的表面上还连接有两个吊环螺栓29，以实现对喷嘴安装板30的吊装。

在实际应用时，涂布喷嘴31为狭缝挤出式，其内部管道根据流量大小、液体粘度、压力大小、进出液口直径进行流道分析，模拟孔的内压和涂布厚度的偏差；同时，喷嘴刀头采用的超硬合金材料相比以前的sus630材质有很大提高，如流道面的直线度可达到0.75um，表面粗糙度可达rz0.1，其硬度相比sus630提高2倍，其磨损量大大减少，可减少由玻璃引起的干涉导致刀头损伤。

④涂布头清洁装置

如图9所示，涂布头清洁装置6设于工作台机架4上且涂布头清洁装置6与涂布模头机构9相适配，以通过涂布头清洁装置6的x轴方向运动对涂布模头机构9作清洁。

对于涂布头清洁装置6，其包括：装于两所述立座38之间的安装座54和设于安装座54上的b伺服模组57，所述b伺服模组57连接有清洁刮刀56，且清洁刮刀56的一侧装有清洁喷嘴55，其在b伺服模组57的驱动下，清洁刮刀56能够在涂布喷嘴31的长度方向上往复运动，进而将涂布喷嘴31上的残留液进行清除，同时，在清洁过程中，通过清洁喷嘴55对涂布头进行喷洒白醇液体，以对涂布液进行稀释，有利于清洁刮刀56的清洁动作。

为进一步提升对废液的收集，该涂布头清洁装置6还包括：设于涂布模头机构9下方的废液收集盒58，所述废液收集盒58连接有调节气缸60并通过调节气缸60驱动其沿y轴方向运动，以驱动废液收集盒58运动至适当位置处，以对废液进行快速收集。同时，为确保对清洁刮刀56的及时清洁，在废液收集盒58一侧装有刮刀清洁喷头59。

为防止涂布喷嘴31的涂布液固化，甚至堵塞涂布头，该涂布头清洁装置6还包括：装于两所述立座38之间的安装底板53和设于涂布模头机构9下方的涂布头浸泡盒61，所述涂布头浸泡盒61连接有一个驱动其沿y轴方向运动的伸缩气缸62，且伸缩气缸62装于安装底板53上，在伸缩气缸62的驱动下，以将涂布头浸泡盒61推动至适当位置，以便于涂布喷嘴31浸泡至涂布头浸泡盒61内。同时，在伸缩气缸62两侧设有导向轴，导向轴的一端连接于涂布头浸泡盒61上，导向轴的另一端通过直线轴承安装于安装底板53上。

基于上述的涂布头清洁装置6，其工作原理如下：

涂布喷嘴31完成涂布后回到起始位，废液收集盒58伸出，涂布喷嘴31清洁装置启动，通过清洁喷嘴55开始对涂布喷嘴31进行喷洒白醇液体，以对涂布液进行稀释，同时，由清洁刮刀56的往复运动去除涂布喷嘴31上的涂布液，直至清洁完成；完成后涂布喷嘴31清洁装置回到起始位，此时，由刮刀清洁喷头59喷洒清洁液对清洁刮刀56进行清洁，直至清洁完成，废液收集盒58则缩回，涂布喷头开始进行下一次涂布动作，进而能够提高涂布的良品率，使生产效率高且不污染机台，增加涂布头的保养周期。

当涂布喷嘴31长时间不工作时，涂布头浸泡装置启动，将涂布头浸泡盒61伸出，且涂布喷嘴31下降，直至浸泡在液体中，通过涂布头浸泡盒61内的液体自动对涂布喷嘴31进行清洁(可适应不同高低粘度的涂布液清洁)，由于配有涂布头浸泡装置，当涂布机停机时，涂布头浸泡至清洁液体中，防止涂布液固化以及堵塞涂布喷嘴31。

通过涂布头清洁装置6可自动清除涂布喷嘴31上的残留涂布液，同时，具有废液收集，喷嘴浸泡等功能.，可解决高粘度涂布液不易清洁，容易堵塞涂布头等问题。

⑤涂布液供液装置

如图10所示，涂布模头机构9在工作时，其通过管路控制系统8连接有涂布液供液装置2，以为其提供涂布液。

对于涂布液供液装置2，其包括：防护柜体68、设于防护柜体68内的两个搅拌压力桶64以及设于防护柜体68上的安全门65，以通过两个搅拌压力桶64互为冗余，涂布液储存在两个15l搅拌压力桶64内，即使一个搅拌压力桶64没有液体后，通过开启控制阀后可接通另一个搅拌压力桶64，以确保涂布液的实时供应。在各所述搅拌压力桶64的下方分别配设有称重传感器63，称重传感器63连接有对其控制的称重传感器控制器66，称重传感器控制器66连接有称重显示仪表，以实时感知搅拌压力桶64的重量情况，由于搅拌压力桶64下均配有称重传感器63，当搅拌压力桶64的重量低于设定值后，提示操作者进行补充，在实际应用时，将搅拌压力桶64为抽屉式结构，方便人员操作检修。对各所述搅拌压力桶64连通有氮气管和供液管，其中，各所述供液管并联连接后形成供液输出接头，通过供液输出接头为涂布液供液装置2提供涂布液，将氮气管道71接通在搅拌压力桶64上，以实现涂布液的供液由清洁氮气作为动力源。

为防止搅拌压力桶64内的气泡影响涂布效果，由于搅拌压力桶64上配有搅拌电机，根据工艺要求定时对涂布液进行搅拌，防止液体中混合物沉淀，通过在各所述搅拌压力桶64分别连接有压缩空气管73，压缩空气管73连接有真空泵，由压缩空气管73将搅拌压力桶64内的空气抽出，进而在搅拌完成后，真空泵对搅拌压力桶64抽真空，目的是抽取搅拌产生的气泡，防止气泡影响涂布效果。

由于涂布液为易燃物，所以在柜体内配有消防喷头70和温度传感器72，如产生火情可及时扑灭，消防喷头70和温度传感器72均连接至消防控制柜76。

为实现涂布液的正常供应，对于管路控制系统8，其包括：分别设于各所述氮气管上的氮气压力传感器75，各个所述氮气压力传感器75连接有氮气压力显示仪表67，以通过氮气压力传感器75监测氮气压力值与搅拌压力桶64内的压力值；在氮气管上还设有氮气气控阀83，氮气气控阀83控制氮气管路的开闭，通过氮气气控阀83的启闭，将氮气通入至搅拌压力桶64内，在氮气压力的作用下，实现涂布液的供应。

如图11、图12所示，管路控制系统8还包括涂布液管69，所述涂布液管69与涂布液供液装置2中供液输出接头连接，且涂布液管69的另一端连接有暂存罐85且暂存罐85设有对其液位监测的液位传感器86，暂存罐85通过中间管路连接过滤器89且中间管路上设有液控阀74和伺服注射泵88，过滤器89通过进液管路连接至涂布模头机构9且涂布模头机构9连接有排液管路，排液管路连接至废液收集盒58。其中，所述进液管路和排液管路上分别设有进液液控阀80和排液液控阀79，控制各涂布液管69路的开闭；所述伺服注射泵88主要由伺服电机、滚珠丝杠及活塞构成，该结构重复定位精度高，有利于涂布液的定量输出，用于将涂布液输送至暂存罐85里，并通过供给进液管路送至涂布喷嘴31侧；所述过滤器89过滤涂布液中的杂质；所述暂存罐85用于存放一定量的涂布液，减少涂布喷嘴31到搅拌压力桶64之间的由于管路的摩擦阻力造成的速度损耗；所述液位传感器86用于检测暂存罐85内的涂布液容量。

管路控制系统8还包括设于防护柜体68上的喷嘴零点显示仪表77和压力显示仪表78，通过喷嘴零点显示仪表77显示涂布喷嘴31是否归零(由光电传感器反馈信号)；通过压力显示仪表78分别显示平台主体配套真空压力(通过设于真空压缩管上的压力传感器测量)、主管道的气源压力(由氮气压力传感器测量)、暂存罐内部压力(由暂存罐配套的压力传感器测量)以及涂布喷嘴的压力(由涂布喷嘴配套的压力传感器测量)等。

涂布液供液装置2包括带搅拌功能的搅拌压力桶64、称重传感器63，可对涂布液体进行均匀搅拌，保证涂层效果。

管路控制系统8采用高精密注射泵、pfa管路、压力传感器、过滤器89等组成，可对涂布速率(稳态涂布)和涂布轮廓(前后边缘)的高精度数字化控制。

⑥清洁液供液装置

涂布头清洁装置6连接有清洁液供液装置3，以通过清洁液供液装置3实现对清洁液的供应，其内部设计与涂布液供液装置2相同，此处不再赘述。

基于上述所提供的涂布机，其工作原理为：

准备工作阶段

在涂布工作开始前，在搅拌压力桶64倒入涂布液，搅拌压力桶64上的电机开始搅拌涂布液，一定时间后，停止搅拌，此目的是将涂布液中的各混合液体搅拌均匀；

打开真空泵，抽取搅拌压力桶64中由于搅拌产生的气泡，一定时间后关闭真空泵，然后打开搅拌压力桶64上的氮气气控阀83，将搅拌压力桶64与暂存罐85之间的液控阀74打开，通过氮气为动力将涂布液输送至暂存罐85中，到达液位传感器86设定量后，将氮气气控阀83与液控阀74关闭；

启动伺服注射泵88，当伺服注射泵88上的活塞后退时，打开暂存罐85与伺服注射泵88之间的液控阀74、过滤器89上的针阀90，从而使涂布液填充在伺服注射泵88的缸体内部，然后观察过滤器89上的针阀90，当针阀90上的管路上无气泡产生，且涂布液也充满至针阀90顶部后，关闭针阀90；

然后将进液液控阀80与排液液控阀79打开，将涂布液通过涂布喷嘴31排放至废液收集盒58里；

然后关闭所有控制阀，至此涂布前准备工作已完成，此步骤目的是排除管路上涂布液气泡，检测各个管路是否有堵塞。

进入涂布工作阶段

打开压力桶上的氮气气控阀83，将压力桶与暂存罐85之间的液控阀74打开，通过氮气为动力将涂布液输送至暂存罐85中，到达液位传感器86设定量后，氮气气控阀83与液控阀74关闭；

然后启动伺服注射泵88，当伺服注射泵88上的活塞后退时，打开氮气气控阀83、暂存罐85与伺服注射泵88之间的液控阀74，从而使涂布液填充在泵缸体内部，氮气压力传感器75检测供给管路的内部压力，比较当前检测压力与预定压力，当比较结果为检测压力大于等于预定压力时，打开进液液控阀80，涂布喷嘴31开始涂布工作。其中，所述预定压力是基于供给管路的长度及供给管路内的涂布液的粘度而设定，该预定压力意味着进液液控阀80的开放时刻与涂布喷嘴31对涂布液的排出时刻相一致时的压力值。

平台主体10吸附玻璃基板后，开始y轴方向运动，进行涂布工作，在此过程中，当涂布液即将排除完后，需设定伺服注射泵88的启动时间至通过涂布喷嘴31排出涂布液的涂布液排出时刻为止的信号延迟时间，此时间基于供给管路的长度及供给管路内的涂布液的粘度而设定；判断所述信号延迟时间是否达到预定时间，当时所述判断结果为已到预定时间时，吸附定位平台停止运动。

实施例2

在本发明中还提供了一种狭缝挤出式高精密平板涂布方法，如图13所示，该涂布方法包括：

s1：将各个顶针23上升，以将工件通过机械手通过进料口82置于吸附平台定位装置5的各个顶针23所在平面上，各个顶针23下降，在配合归正气缸20和滑台气缸19的动作，将玻璃基板准确定位在平台主体10的表面上，并通过吸附平台定位装置5对工件进行定位后吸附牢固，真空发生器产生真空，以使平台主体10的表面产生负压，平台主体10吸附玻璃基板；

s2：吸附平台定位装置5朝向y轴方向运动，且涂布模头机构9在涂布头z轴运动机构7的驱动作用下下降至预设位置(由接触式位移传感器21实时反馈位置信息)，涂布模头机构9按预设参数对工件进行涂布，此时，与涂布模头机构9连接的涂布液供液装置2也启动并正常供液；

s3：吸附平台定位装置5继续朝向y轴方向运动，直至工件的涂布完成，此时，涂布液供液装置2停止；

s4：涂布模头机构9停止并上升回位至初始位置，并启动涂布头清洁装置6以对涂布模头机构9进行清洁，以去除残余涂布液；

s5：吸附平台定位装置5切换至下料状态(即吸附真空解除，且各个顶针23上升)，通过机械手从出料口81取出工件后，吸附平台定位装置5回位至上料状态，进行下一工件的涂布工序。

本发明不局限于上述可选实施方式，任何人在本发明的启示下都可得出其他各种形式的产品，但不论在其形状或结构上作任何变化，凡是落入本发明权利要求界定范围内的技术方案，均落在本发明的保护范围之内。