刚刚胜利闭幕的青浦区第六次党代会提出，要坚持“高端、数字、融合、集群、品牌”的发展方针，壮大新材料、新能源、新装备等产业，大力塑造核心产业优势。近日，青浦先进制造项目建设又有新进展，位于市西软件园的上海精测半导体技术有限公司研发大楼，全面进入 “内外兼‘修’”的施工冲刺阶段。

上海精测半导体技术有限公司研发大楼2019年底开工，项目占地约55亩，共有五幢单体建筑及配套设施，包含一幢2层洁净厂房、两幢11层研发办公大楼、两幢13层研发办公大楼及河下连廊等。目前，工作人员正在对其玻璃幕墙进行施工，同时室内精装修也在同步进行，预计明年6月具备交付条件。

据悉，上海精测半导体技术有限公司成立于2018年，经过三年的发展，已完成了从核心技术开发到产品应用的转化。目前主要开发的半导体技术及设备包括：全自动精密薄膜测量设备、高性能超薄膜及OCD测量设备、电子束在线复检设备、FIB-SEM双束设备以及形貌及应力分析设备。其中高性能超薄膜及OCD量测设备，电子束在线复检设备以及FIB-SEM双束设备均为国内首创。

研发大楼建成后，上海精测将全力开启半导体新赛道，将致力于开发半导体前道制程量测手段以及相应的检测量测设备，通过应用国内领先的电子束/离子束成像、光谱分析量测技术手段，为客户提供制程管控优化和良率提升的解决方案。