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全新6英寸MEMS生产线落成,美泰科技迈向国际一流MEMS企业
2016-11-17 07:46:00 来源:麦姆斯咨询 评论: 0 点击:
全新6英寸MEMS生产线的厂房外景
据 麦姆斯咨询报道,近日,美泰电子科技有限公司(以下简称:美泰科技)顺利完成全新6英寸MEMS生产线的建设。这条全球领先的生产线将有助于降低MEMS产品生产成本,同时还会加快现有MEMS应用的普及,以及创新 MEMS市场的开发。该MEMS生产线位于河北石家庄市鹿泉区信息产业园,采用全新的厂房设计和先进的MEMS生产设备。
全新的MEMS厂房设计
全新6英寸MEMS生产线的超净间内景
美泰科技的6英寸MEMS生产线总投资超过1亿美元,是一个以生产高端MEMS产品为主的全新自动化产线。该新产线的月产能达到1万片,将成为国内乃至国际上规模最大的高端MEMS传感器生产基地之一。
美泰科技是中国最大的MEMS高端核心芯片供应商,致力于MEMS器件与系统的研发、生产和销售,主要产品有MEMS惯性器件与系统、MEMS测试测量传感器、MEMS压力 传感器、汽车MEMS传感器、射频(RF)MEMS器件、光MEMS器件等。
美泰科技生产的6英寸MEMS晶圆
美泰科技副总经理吝海锋说道:“目前国际上比较成功的MEMS企业大多是IDM企业。美泰科技具有完备的MEMS和ASIC芯片设计、芯片制造和封测以及系统集成能力,是一个典型的IDM企业,并已通过了ISO9001:2008、TS16949:2009、GJB9001B-2009体系认证,为客户提供高品质的产品与服务。美泰科技的MEMS产品应用领域主要有航空航天、汽车、高铁、测试测量、无人机、智能制造、地震、风电、桥梁、工程机械、家电和工业物联网等。”
美泰科技生产的汽车MEMS 传感器
面向“高效、环保”发动机系统,美泰科技在国家科技部的支持下开发了MEMS空气流量计、MEMS差压传感器、MEMS歧管压力传感器等用于汽车发动机系统相关系列产品,突破了核心流量、压力、差压芯片的设计、工艺、加工和测试技术,并配套自筹资金形成了年产300万只的批量生产能力,该系列传感器均打破欧美技术垄断,填补了国内空白,申请专利3项,参与制定工信部汽车传感器行业标准2项,实现汽车发动机核心传感器芯片国产化和产业化的突破。
针对桥梁、精密光学平台、高分辨率对地观测卫星、新型飞机和汽车NVH(噪声、振动与平顺性)测试等国家重大工程对高分辨率振动分析仪器的需求,美泰科技突破了MEMS敏感结构芯片、超小体积、高精度敏感结构和ASIC信号读出电路的设计、加工和测试,研发出具有自主知识产权国际领先的3D集成技术的超低频微振MEMS加速度传感器,填补国内空白,已授权发明专利2项,自身主导并与中国计量院合作制定MEMS加速度传感器国内行业标准,IEC47和ISO相关MEMS加速度国际标准,代表产品“MSV1200超低频微振动系列桥梁专用MEMS加速度传感器”获得中国半导体行业协会“第十届(2015年度)中国半导体创新产品和技术”奖。
基于节能减排、绿色能源、可持续发展的理念,美泰科技突破了智能MEMS传感器的芯片设计、MEMS工艺加工、检测电路、集成封装和测试等技术的研究,突破低成本和批量制造等关键技术,研制出国际领先水平的物联网智能燃气表,填补国内空白。具有微型化和智能化、传感器输出信号的数字化和网络化、量程比宽、应用范围广、可靠性高、性价比高、寿命长等优势。该项目申请专利2项,参与制定国内标准2项。
“根据Yole统计数据,未来五年全球MEMS市场的复合年增长率约为9%,全球MEMS出货量的复合年增长率约为13%。可见,MEMS是全球半导体行业最有前景的市场之一。我们建成的全新MEMS生产线将有助于公司加强在这一技术领域的国内领导地位。”吝总满怀希望地憧憬,“此外,国内中小MEMS企业发展面临很多困难,其中一个重要瓶颈就是MEMS代工环节,而美泰科技拥有20多年MEMS制造经验,具备成熟的工艺技术及量产能力,可为客户代工多种MEMS产品,加速中国MEMS产业化进程。”
凭借多年坚持不懈的努力,美泰科技掌握核心技术,并已处于国内领先地位,正努力打造国际一流的MEMS企业。对美泰科技而言,除了突破技术上的固有挑战,就是努力开拓国内外市场,进一步打破国际MEMS巨头对产业的垄断。相信以美泰科技为代表的优秀MEMS企业能早日让我们见证中国“芯”的崛起,闪耀国际舞台。
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