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三機一體式，多功能精磨系統
為滿足下一代材料「寬能隙半導體」製程應用而設計
多工序、精簡設計，節省空間， 可彈性調整滿足客戶特定製程需求，整合成一套系統
立式減薄磨床
平面研磨
CMP拋光機
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