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电子束蒸发 真空镀膜机是应用广泛的新型工业电子产品行业。这种涂层技术有许多优点,但也存在一些缺点。由于蒸发 镀膜机的特点在薄膜的生产中发挥了巨大的作用,薄膜的生产主要是通过镀膜机中电子束的加热来生产的。在高真空下,电子枪丝被加热并发射出热电子,热电子被加速的阳极加速,然后以巨大的动能轰击正在蒸发的物质。将动能转化为热量,使蒸发材料受热汽化,从而实现电子束蒸发涂层。电子束蒸发源由发射电子的热阴极、电子加速器和作为阳极的涂层材料组成。电子束蒸发源的能量可以高度集中,使涂层材料在高温下部分蒸发。通过调节电子束的功率,可以很容易地控制涂层材料的蒸发速率,特别是对高熔点和高纯金属及复合材料。
1、电子束加热蒸发真空镀膜机的优点
并与传统的电阻加热方法进行了比较。电子束加热会产生更高的通量密度,更有利于高熔点材料的蒸发,也能在一定程度上提高蒸发速率。
(2)蒸发涂膜机在工作时将需要汽化的原料放入水冷的铜坩埚中,这样可以保证材料避免污染,可以制作出纯度相对较高的涂膜。
(3)电子束蒸发的粒子动能比较大,有利于薄膜的精度和粘附。
2、电子束加热蒸发真空镀膜机镀膜的缺点
(1)电子束蒸发镀膜机整体结构比较复杂,相对于其他镀膜设备价格相对较高。
(2)涂层机在工作时,如果蒸发源附近的蒸汽密度比较高,就会使电子束与蒸汽粒子之间产生一定的相互作用,会影响电子通量,使电子通量丢失或偏移轨道。你也可以激发和电离蒸汽和残余气体,影响整个电影的质量。
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