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| 奥飞克管道工程有限公司提供全方位的特气供气系统，满足不同高纯度/特气供气系统的用气要求和安全 。特气系统主要组成：特气控制面板，特气设备，分配箱，纯化设备，废气处理设备，检测器，监视设备等。半导体制造业所使用的特种气体一般按其使用时的特性，可分为五大类 （1）易燃性气体 把自燃、易燃、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2 H6等气体也 会产生自燃。可燃易燃气体都有一定的着火燃烧爆炸范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起爆炸燃烧危险性就越高，如B 2H6的爆炸上限为98%，爆炸 下限为0.9%。属于易燃气体有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 等等。 （2）毒性气体 半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等气体的毒性最大。 这些气体在工作 环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。 NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都属于毒性气体。 （3）腐蚀性气体 这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀 性，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等。 （4）惰性气体 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成工伤事故。属于这类的气体有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。 （5）氧化性气体 这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ,Cl2,NF3等。 奥飞克管道工程有限公司是一家专业从事于气体领域服务于一体的高新技术企业，为客户提供高纯度特气供应系统、各种实验室/研究所供气 系统、气体管道工程、尾气处理整体设计、安装调试一体式的工程服务。从选型咨询、产品供应、投运维护、技术支持、用户培训、客户服务等，提供了整套优质成 熟的气体解决方案。深受广大客户的肯定及认同。 主要服务于半导体、太阳能、生物制药、实验室、石油化工、医疗、电子微电子、LED等高新科技企业 1：特种气体输送系统，分配箱（VMB/VMP），尾气处理设备，报警监控系统等的安装，测试 2：实验室气体管道工程，从咨询、设计、选型、产品供应、投运维护、技术支持、用户培训、客户服务提供整套的系统安装 3：管道配件：各种供气系统所需的气体减压器、半导体减压器、不锈钢阀门、卡套接头、各种级别的不锈钢管、精密过滤器、各类压力表、分析仪器 4：各种自动轨道焊接服务：洁净部件、连接管件、二次配管等 |
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