3D结构图
Mol
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22398-80-7 磷化铟
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![磷化铟](https://imgen3.guidechem.com/img/spider/2022/12/5/1670227643044333.jpg)
磷化铟是重要的Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料之一,是继硅(Si)、砷化镓(GaAs)之后的新一代微电子、光电子功能材料,其因电子迁移率高、禁带宽度大等特点,被广泛应用于微波及光电器件领域。 溶解性:Slightly soluble in acid
生产方法 用高压单晶炉制备磷化铟单晶是最主要的方法,并用掺等电子杂质的方法降低晶体的位错密度。而气相外延,多采用In-PCl3-H2系统的歧化法,在该工艺中用铟(99.9999%)和三氯化磷(99.999%)之间的反应来生长磷化铟层。
气相外延将石英反应管放在双温区电炉中,已净化的高纯氢气经计量通入,氢气也用来稀释三氯化磷,此时彭泡器保持在0℃,通过反应管内的氢气线速度为14 cm/min。外延生长分为诱个阶段进行。
在第一阶段,将盛有铟的石英舟放在电炉中源区,通入氢气并加热到700~850℃,再用氢气将三氯化磷引入,在铟源上方被还原成磷蒸气和氯化氢。镉化氢与铟反应生成一氯化铟蒸气在管中迁移。磷溶解在铟中直至饱和为止。
在第二阶段,铟源保持在原位置不加热,单晶衬底放在电炉的第二加温区后,在氢气氛下加热到600~750℃。首先用氢气将三氯化磷引入到管内对衬底进行气相腐蚀,清洗衬底表面。再将氢气直接引入反应管,并把源加热到它的过饱和温度(在操作中此温度比衬底晶体的温度高100℃)。然后通过氢气鼓泡将三氯化磷引入,这时磷蒸气与在源区生成的一氯化铟反应,在衬底上淀积生长出磷化铟层。当外延生长完成后,向系统中通入纯氢气,将两个温区冷却到室温,取出产物,制得磷化铟成品。
第2部分 危险性概述
- 紧急情况概述:
-
可能致癌。长期或反复接触会对器官造成伤害。f。
- GHS危险性类别:
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致癌性 类别 1B
特异性靶器官毒性 反复接触 类别 1
生殖毒性 类别 2
- 标签要素:
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- 象形图:
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- 警示词:
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危险
- 危险性说明:
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H350 可能致癌。
H372 长期或反复接触会对器官造成伤害。
H361f 。
- 防范说明:
-
- 预防措施:
- P201 使用前取得专用说明。
- P202 在阅读并明了所有安全措施 前切勿搬动。
- P280 戴防护手套/穿防护服/戴防 护眼罩/戴防护面具。
- P260 不要吸入粉尘/烟/气体/烟雾/蒸气/喷雾。
- P264 作业后彻底清洗。
- P270 使用本产品时不要进食、饮 水或吸烟。
- 事故响应:
- P308+P313 如接触到或有疑虑: 求医/就诊。
- P314 如感觉不适,须求医/就诊。
- 安全储存:
- P405 存放处须加锁。
- 废弃处置:
- P501 按当地法规处置内装物/容器。
- 预防措施:
- 物理和化学危险:
- 无资料
- 健康危害:
- 可能致癌。长期或反复接触会对器官造成伤害。f。
- 环境危害:
- 无资料
![磷化铟](https://imgen3.guidechem.com/img/spider/2022/12/5/1670227643464993.jpg)
磷化铟是重要的Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料之一,是继硅(Si)、砷化镓(GaAs)之后的新一代微电子、光电子功能材料,其因电子迁移率高、禁带宽度大等特点,被广泛应用于微波及光电器件领域。 类别 有毒物品 可燃性危险特性 高热产生有毒磷氧化物烟雾 储运特性 库房通风低温干燥 灭火剂 干粉、泡沫、砂土、二氧化碳, 雾状水 职业标准 TWA 0.1 毫克 (铟)/立方米
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上海源叶生物科技有限公司
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品牌试剂
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- 产品名称: 磷化铟
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上海阿拉丁生化科技股份有限公司
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品牌试剂
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- 联系电话:400-6206333
- 产品名称: 磷化铟, CAS 22398-80-7,-阿拉丁试剂
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广州和为医药科技有限公司
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